| 
	½á¹¹ÌÕ´ÉÓÃÄÉÃ×îÆÎȶ¨Ñõ»¯ï¯·ÛÌåÉÕ½á³ÉµÄÌÕ´ÉÓÉÓÚÆäÏà±äÔöÈ͵ÄÁ¼ºÃÐÔÄÜÒѳÉΪÖ÷ÒªµÄ½á¹¹ÌÕ´ÉÖ®Ò»£»ÔÚÄÉÃ׸´ºÏ²ÄÁÏÑо¿ÖУ¬½«½á¹¹ÌÕ´ÉÓÃÄÉÃ×îÆÎȶ¨Ñõ»¯ï¯×÷ΪÃÖÉ¢Ïà¶Ô»ùÌå½øÐÐÔöÇ¿ÈÍ»¯£¬ÒÑÈ¡µÃÏÔÖøµÄЧ¹û¡£ 
 
	
¼¼ÊõÖ¸±ê£º 
 
	Ó¦Ó÷¶Î§£º
		
			
				| 
						ÐͺŠ
					 | 
						                      DK417-3 
					 |  
				| 
						¾§Ïà 
					 | 
						                       3YËÄ·½Ïà 
					 |  
				| 
						ZrO2% (+ HfO2) 
					 | 
						                         94.7 
					 |  
				| 
						Y2O3£¨wt%£© 
					 | 
						                        5.3¡À0.3 
					 |  
				| 
						Al2O3% ¡Ü 
					 | 
						                            0.01 
					 |  
				| 
						SiO2%¡Ü 
					 | 
						    0.01 
					 |  
				| 
						Fe2O3%¡Ü 
					 | 
						    0.01 
					 |  
				| 
						CaO%¡Ü 
					 | 
						    0.005 
					 |  
				| 
						MgO%¡Ü 
					 | 
						    0.005 
					 |  
				| 
						TiO2%¡Ü 
					 | 
						    0.002 
					 |  
				| 
						Na2O%¡Ü 
					 | 
						    0.005 
					 |  
				| 
						 Æ½¾ùÁ£¾¶  
					 | 
						                          20nm 
					 |  
 
 
	
 
	1. ÆÕͨÑõ»¯ï¯Ìմɽṹ¼þÔöÈÍ£¬Ìմɵ¶ÔöÈÍ£» 
 
	2. Ñõ»¯ÂÁÌմɽṹ¼þµÄÔöÈÍ£» 
 
	3. ¶þÑõ»¯¹è²£Á§µÄÔöÈÍ 
 
	4. ÆäËûÌմɵÄÔöÈÍ 
 |